最近，更致力于以高介电常数 的材料来取代闸级介电层(gate dielectrics)。但 是相当遗憾的，许多的高介电材料诸如 Ta 2 O 5 , Ti O 2 以及S r Ti O 3 等，再与矽基板接触时 其热稳定性并不好，会在界面...
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