全部7篇论文中,半数以上(4篇)涉及以先行栅极工艺(Gate-first Process)为前提,使金属原子从绝缘膜上的金属氧化物(带隙层)和金属电极扩散出来,使功函数接近带边(Band Edge)的技术。
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gate-first过程
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