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flow pattern defects

  • 流动图形缺陷

网络释义专业释义

  流动图形缺陷

本文将CZ硅单晶片在Secco腐蚀液中择优腐蚀后，用光学显微镜和原子力显微镜对流动图形缺陷(flow pattern defects, FPDs)在硅片中的形态、分布及其端部的微观结构进行了仔细地观察和研究，并讨论了腐蚀时间对FPDs缺陷端部结构...

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