普通和掺氮的重掺砷直拉硅单晶的氧沉淀行为 - docin.com豆丁网 富的石英为原料，经过多步化 学处理成为高纯多晶硅。将多晶硅制备成单晶硅的生长方法主要有两种，一种是 无坩埚的悬浮区熔法（FloatZonemethod，FZ）【Iol，另一种是直拉法（Czocllrals虹 method，CZ）…1。区熔法法生长的单晶硅称为
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float-zonemethod 浮区法
float zonemethod
浮动zonemethod
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