薄膜体声波谐振器压电多层板结构振动分析--《中国力学学会学术大会'2009论文摘要集》2009年 薄膜体声波谐振器压电多层板结构振动分析 王骥 柳建松 杜建科 黄德进 【摘要】： 正薄膜体声波谐振器(film bulk acoustic resonator,FBAR)作为一种新型压电声波器件,在GHz频率段以及要求谐振器元件与电路的较好兼容的无线通讯系统中越来越受到
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