...豆丁网 效果对比 （2）合理选择送风方式采用风机过滤单元机组（Fan Filter unit，FFu）或模 块式风机单元装置（Fan Module unit，FMU）后，洁净室的能量消耗将会降低。
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fan module unit
风扇模块单元
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Fan(C&R) Module, Stepper motor, Control panel (device), Sensor, Blower Unit, etc.
冷凝风扇，步进电机，控制面板（器），传感器，鼓风机等。
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