The most important contributions are the elimination of anisotropic influence on the hole quality using "two-step" method, and the real-time observation of etched surface roughness with infrared thermal image and related analysis.
本文的主要创新点在于:用“两步法”抑制晶体各向异性的影响,以腐蚀成预期的精细图样;通过激光诱导腐蚀面的红外热像及其相关分析实现腐蚀基片表面粗糙度的实时观测。
参考来源 - 半导体激光诱导液膜浸润刻蚀技术研究·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress
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