...的实现提供了极大的灵活性,因此磷化铟集成光子器件的一直是国际上研究的热点之一蚀刻衍射光栅(EDG, etched diffraction grating)尺寸小,结构紧凑,在高射率材料的密集波分复用器件中有广泛应用。
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刻蚀衍射光栅
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