...的实现提供了极大的灵活性,因此磷化铟集成光子器件的一直是国际上研究的热点之一蚀刻衍射光栅(EDG, etched diffraction grating)尺寸小,结构紧凑,在高射率材料的密集波分复用器件中有广泛应用。
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...的实现提供了极大的灵活性,因此磷化铟集成光子器件的一直是国际上研究的热点之一蚀刻衍射光栅(EDG, etched diffraction grating)尺寸小,结构紧凑,在高射率材料的密集波分复用器件中有广泛应用。
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刻蚀光栅
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参考来源 - 基于绝缘体上的硅材料的刻蚀光栅式分波合波器研究
蚀刻衍射光栅
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