化矽(SiO2)层 1μm，当作湿式蚀刻阻挡层(Etch mask)。
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plasma etch mask 等离子腐蚀用掩模
dynamic etch mask 动态掩膜湿法腐蚀
mask etch [电子] 掩蔽腐蚀
etch mask
蚀刻掩模
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