... 【日经BP社报导】 尼康日前首次公开了开口率（NA）为0.85的ArF液浸曝光机“EET（工程评估工具， Engineering Evaluation Tool）”的缺陷评测结果。结果表明，晶圆缺陷密度之少可与干燥曝 光机媲美，没有发现起泡等液浸所固有的缺陷。
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engineering evaluation tool
工程评价工具
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