第一个单元为电采单元(Electrowinning Unit), 用于采集电镀槽内硫酸铜废液的铜金属。第二个为两阶段中和单元,整合处理电采程序后的残液 与清洗晶圆水,调整其pH 值。
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electrowinning unit
电解沉积单元
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