effective oxide thickness
...质,超薄闸极氧化层做为介面层和氮化矽薄膜(Si3N4)(厚度(effective oxide thickness),且针对高介电常数介电层氧化铝薄膜(Al2O3)的特性作初步的研究并找出沉积之最佳化条件.
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等效氧化层厚度(Effective Oxide Thickness,EOT);2. 介电崩溃电场强度(Dielectric Breakdown Electric Field);...
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effective oxide thickness
有效氧化厚度
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