定义 中文名称： 塌边 英文名称： edge subside 定义： 在硅片抛光工艺中，使晶片边缘区域形成斜坡状的加工缺陷。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）； 半导体材料（二级学科）；元素半导体材料（二级学科
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edge subside
边缘消退
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