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edge bead roval

网络释义

  边沿光刻胶的去除

... ℃,30~60秒;目的:祛除溶剂(4~7%);增强黏附性;开释光刻胶膜内的应力;防止光刻胶玷辱设备;边沿光刻胶的去除(EBR,Edge Bead Roval)。光刻胶涂覆后,在硅片边沿的正反两面城市有光刻胶的堆积。

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有道翻译

edge bead roval

边沿圆孔

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