ECR微波等离子体
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ECR微波等离子体反应溅射 ECR sputtering
微波ECR等离子体 Microwave ECR plasma ; Microwave-ECR Plasma
微波ecr等离子体 microwave electron cyclotron resonance plasma
微波ecr等离子体源 microwave ecr plasma source
ecr微波等离子体
【中文译文
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