...论文-免费论文 关键词：双光栅干涉，高精度，四象限光电探测器，四倍频细分 [gap=1416]KEY WORDS: Double grating interference，High-precision，Four-quadrant optoelectronic detector，Fourth harmonic subdivisio..
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So it meets the need of high precision measuring in normal experiment and production conditions. First of all, double grating interference is researched deeply in this paper.
由于衍射干涉的采用,该传感器具有大量程、高分辨率与高精度,同时由于是双光栅干涉,其结构简单、紧凑,具有良好的稳定性和抗环境干扰能力,因而适合一般实验和生产条件下高精密位移测量需要。
参考来源 - 一种双光栅干涉位移传感器的研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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