diffusion topography engineering
...结构及其形成方法 [技术摘要] 本发明提供一种半导体结构及其形成方法，该方法以扩散地形程序(diffusion topography engineering，DTE)形成半导体结构。首先在半导体基板中形成沟槽隔离区以定义扩散区。
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...结构及其形成方法 [技术摘要] 本发明提供一种半导体结构及其形成方法，该方法以扩散地形程序(diffusion topography engineering，DTE)形成半导体结构。首先在半导体基板中形成沟槽隔离区以定义扩散区。
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diffusion topography engineering
扩散地形工程
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