深刻蚀技术
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deep reaction ion etching technology 深刻蚀技术
deep etching technology
深蚀刻技术
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The consequences are benefit to Silicon electrochemical micromachining technology and the technology will be hopeful to become an new technology about Silicon deep-holes etching technology.
其结果对进一步开展这方面的研究工作具有指导意义，在进一步深入开展研究电化学体硅微加工技术时，可有望成为实现硅深孔列阵加工的新技术。
youdao
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