该方法包括微波等离子体法（MPCVD），射频等离子体法（RFPCV D），直流等离子体法（dc PCVD，dc PjCVD）以及电弧放电等离子体 谴如刘沙博士学位论文 第一章绪论 法（ADPCVD，ADPJ CVD）等。
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热阴极DC-PCVD Hot-cathode DC-PCVD
DC-PCVD 直流等离子化学气相沉积
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