conventional interferometric lithography
传统干涉微影(Conventional Interferometric Lithography, CIL) 传统干涉微影原理为利用左右对称之光束线互相干涉时，产生 周期性之明暗条纹，照射于晶圆上阻剂，可制备...
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传统干涉微影(Conventional Interferometric Lithography, CIL) 传统干涉微影原理为利用左右对称之光束线互相干涉时，产生 周期性之明暗条纹，照射于晶圆上阻剂，可制备...
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conventional interferometric lithography
常规干涉光刻
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