...制的光刻胶应用于干式及浸没式光刻, 在45 nm 工艺中均能得到好的 等幅线宽(line/ space) 、沟槽(t rench) 及接触孔(contact hole) , 是目前报道 的最好的浸没式 树脂之一.
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这些超细密的内嵌式记忆体的接触窗(contact holes)， 对干式微影技术来说是很大的挑战，但1.07数值孔径的浸润式技术， 却可以确保其能够利用简单的曝光即可加以实现。
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contact hole opening 开接触孔
via contact hole 通路接触孔
surface contact hole 表面接触孔
A contact hole 接触孔
PIN-HOLE CONTACT 针孔接触
contact t hole 接触孔
HOLE CONTACT 针孔接触
hole supplying contact 空穴注入接触
hole-supplying contact 空穴注入接触
The contact hole (19) has an elliptical planar shape.
接触孔（19） 的平面形状为椭圆形。
Electrode contact hole USES heavily doped for reducing contact conduction loss.
电极接触孔处采用重掺杂，减小接触电导损失。
Furthermore, the contact finite element was adopted to gain the accurate distribution of strength in the subassembly with the interference between the axle hole and the shaft.
另外，还采用接触单元对孔轴过盈配合联接组件进行了有限元分析，得到更为精确的强度分布。
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