...微米闸极开孔场发射元件之制程，其中复晶矽层系以化学气相沈积(CVD)系 统，而具有良好保角步阶覆盖性质(conformal step coverage)可沈积方式制作闸极。 5.
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conformal step coverage
保角阶跃覆盖
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