化学刻蚀
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chemically etching substrate 化学腐蚀基体
substrate-chemically etching method 基体化学腐蚀法
Chemically etching stencils 腐蚀模版
chemically assisted ion beam etching 化学辅助离子束刻蚀
chemically etching
化学蚀刻
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The results show that the surface properties of it with CMP, and then chemically etching are best.
结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好。
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