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bulk microstructures

  • 体微结构

网络释义专业释义

  体微结构

...ation trenches ; bulk microstructures ; monolithic integration [gap=15254]关键词 : 深反应离子刻蚀 ; 电隔离槽 ; 体微结构 ; 单片集成 ...

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  • 体微结构 - 引用次数：1

    参考来源 - 用深反应离子刻蚀和介质填充技术制造具有高深宽比的超深电隔离槽 Fabrication of Ultra Deep Electrical Isolation Trenches with High Aspect Ratio Using DRIE and Dielectric Refill

·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress

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