...articles 而高的降温速率会使得DZ宽度变窄;对于电子辐照CZ-Si,在N2气氛下高温RTP更能促进氧沉淀形成,体缺陷(bulk micro defects,BMDS)密度较大.
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micro bulk defects 微体缺陷
bulk micro defects
大块微缺陷
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