准备室（Buffer chamber）：真空度210 -10 torr 进样室（loadlock chamber）：真空度210 -8 torr，从大气开始抽到该真空度时间不大于 2 个半 小时...
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等真空度达到 5.0 x10 -5 torr 后，利用真空引入 (feedthrough)将试片送入缓冲腔(buffer chamber)，然后，再等真空度 到达7.0 x10 -7 torr 左右后，再利用真空引入将试片送入成长腔(growth chamber)成长，然而本薄膜组成均匀性相...
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...方就是介于外槽顶板及预 力混凝土墙之间隙(10∼50mm)，工作口在浮顶 期间，除紧急状况人员不得进出，其采缓冲室 (Buffer Chamber)设计，配置两道气密门，进出 时两道气密门不得同时打开(详图15)，至外槽 顶板及预力混凝土墙之间隙，其须配合浮顶滑 升，使用铝箔...
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