其中,纳米MOSFET的关键可靠性问题：偏压温度不稳定性(Bias Temperature Instability或BTI),便是其中之一。另外,传统Si工艺正在接近物理极限。
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Negative Bias Temperature Instability 负偏压温度不稳定性 ; 不稳定性 ; 负栅压偏置不稳定性 ; 负偏压温度不稳定效应
bias temperature instability
偏置温度不稳定性
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