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bi-material micro-cantilever array

网络释义

  双材料微悬臂梁阵列

...红外成像 MEMS 双材料微悬臂梁阵列 光学读出 [gap=879]Key words:Uncool IR imaging; MEMS; Bi-material micro-cantilever array; Optical-readout.

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bi-material micro-cantilever array

双材料微悬臂阵列

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