...栅形电极; 滑膜阻尼 中图分类号: T P212. 12 文章编号: 1004- 132 ( 2004) 02- 0103- 03 [gap=987]Key words: m icrom ach ined gy ro scop e; bu lk silicon m icrom ach in ing; ba r elect rodes; slide- film dam p ing ..
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ba r elect rodes
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