Archer 100系统的新功能之一为“自动配方优化(Automatic Recipe Optimization, ARO)”演算法，即使是经验不多的操作人员，仍然可以轻易地在离线状态下建立最优化的配方，释放晶圆厂中极具价值...
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automatic recipe optimization
自动配方优化
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