...路材料工程、 电子构装材料工程 热氧化 SiO 2 Si Si Si Si 第一周 干式热氧化矽晶片 第二周 铜金属薄膜溅镀 (as the seed layer) 第三周 电镀铜金属薄膜 (as the conducting lines) 电子材料工程教育与研究 , ...
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as the seed layer
作为种子层
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Through the study, we find that the morphology and crystallography of the seed layer has an important effect on the as-deposited Cu films.
通过对化学镀铜膜形貌和结晶方面的研究发现：籽晶层对铜膜最终形貌和择优取向有较大的影响。
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