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advanced oxide etch

网络释义

  先进氧化物刻蚀

另一种是使用先进氧化物刻蚀（Advanced Oxide Etch，AOE），AOE使用平面电感耦合射频（13.56MHz）等离子圈，在腔体侧壁具有多极磁约束力，并使用高度真空...

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有道翻译

advanced oxide etch

高级氧化物蚀刻

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