冷壁反应器模型
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a cold-wall reactor
冷壁反应堆
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The system of MOCVD was designed, assembled and debugged. Mo substrate was heated in a cold-wall MOCVD reactor in order to heat it more centrally;
设计、组装、调试了MOCVD系统，采用冷壁加热方式，对基体实现选择性加热；
youdao
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