用途扫描模式，其中包括扫描速度提高10倍的高速轻敲成像模式（high-speed AC）。该系统通过将隔声、防震以及温控系统整合到一个机架结构内，为成像和测量提供了一个完美的“无热漂移”控制环境。
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高速轻敲成像模式
High speed tap imaging mode
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