高纯气体系统用膜片阀(Usedin High Purity Gas System Membrane Valve) 气体工业名词，其工作原理是由与手轮一起转动的阀杆将阀头压下，使阀关闭。靠弹簧和气压将阀头抬起，使阀开启，膜片将介质与大气隔开。其优点是密封性好，可靠，死区小，其死区体积不到相同口径波纹管阀的一半。易于排除痕量残留气体；阀头与阀座间无相对摩擦，不会有金属粒子落入介质中，具有可以同时满足高压，真空，高低温的综合性能。膜片或截止阀工作压力可达21MPa，适用温度-54～316℃，漏气速率1。33×10-7PaLs。