...空圆筒体上的半径为r、匝数为N的线圈2、3，由于可移动布局的高度远大于间隔和宽度，所以该手艺称为高深宽比微电机系统（HARMEMS），应答器的天线线圈可以用金属蚀刻法、金属线缠绕法、真空镀金属法和导电油墨印刷法等多种方法制作得到，该手艺可通过深反应离子...
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高深宽比微电机系统
High aspect ratio micro-motor system
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