飞思卡尔新一代高宽比微机电系统(HARMEMS)技术是适合安全气囊传感应用的成熟技术。加速度传感器采用先进的传感设计，改进传感器的偏移性能。
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高深宽比微电机系统 HARMEMS
高宽比微机电系统
Aspect ratio MEMS
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