12-BG68784 高功率脉冲磁控管溅射(HIPIMS)中的电弧抑制和脉动 13-BG68784 针对高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)的RF衬底偏压
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高功率脉冲磁控管溅射
High power pulsed magnetron sputtering
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