...磁场条件下,大直径硅单晶的等效微重力生长,不但抑制了大熔体强烈的热对流,而且通过控制马兰哥尼对流(Marangoni Convection),使得直拉硅中氧含量,可达到 ppm 级可控;晶体电阻率的纵向、径向均匀性和微区均匀性都得到改善,为晶体生长理论及工艺的研究,...
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马兰哥尼对流
Marangoni convection
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