（3）将飞秒脉冲激光沉积法（fsPLD, femtosecond Pulse Laser Deposition）引入到β-FeSi2薄膜的制备工艺中,并与准分子（excimer）激光沉积法进行了比较,得到了脉冲激...
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将飞秒脉冲激光沉积法 femtosecond Pulse Laser Deposition
飞秒脉冲激光沉积法
Femtosecond pulsed laser deposition method
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