... 预抽真空 forvacuum 预抽真空室 preevacuated chamber 预真空锁 Load Lock ...
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预抽真空室
Pre-vacuum chamber
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两个镀膜室通过预抽真空管道和蝶阀、高真空三通管道和闸板阀组成一个整体。
Two film plating Chambers are formed into a whole via a forvacuum pipeline, a butterfly valve, a high-vacuum three-way pipeline and a gate valve.
youdao
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