静电力显微镜（英文名：Electrostatic Force Microscopy, 简称EFM）是一种利用测量探针与样品的静电相互作用，来表征样品表面静电势能，电荷分布以及电荷输运的扫描探针显微镜。 静电力显微镜的工作原理与原子力显微镜类似。关键部分都是由悬臂梁组成的探针。但与原子力显微镜测量探针与样品的范德华力不同，静电力显微镜通过测量两者的库仑相互作用来实现样品成像。
4．静电力显微镜(EFM)： 静电力显微镜(Electrostatic Force Microscope，EFM)是LFM的扩展，不同的是EFM使用带有电荷的探针，在共振频次附近受迫振动，针尖和样品起到平行板电容器...
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原文由 ssh110 发表: 静电力显微镜 静电力显微镜(electric force microscopy, EFM)是在导电的AFM针尖上加一偏压，针尖至少在扫描的一半时间内以固定频率振动。
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静电力显微镜模式 EFM
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