本申请涉及用于半导体集成电路设备的缺陷分析方法和缺陷分析系统。
The invention relates to a defect analysis method for semiconductor integrated circuit devices and a defect analysis system.
目前微型集成电路广泛应用于电脑、手机及其他的电子设备上。
Microchips are used in computers, cell phones and other electronic devices.
当电子设备制造商希望能更小的设备里实现更快的计算能力和更大的内存时，层叠式集成电路的发展前景越来越有活力。
They're vital as consumer electronics makers look to cram more processing power and memory into smaller devices.
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