Nano-electromechanicalSystem
...量的分子动力学研究 论文编码 371182 专业 微电子学与固体电子学 摘要：随着纳机电系统(Nano-electromechanicalsystem，NEMS)技术的进步，纳米薄膜、纳米梁、纳米线、纳米管和纳米带等各种纳米结构的机械特性都受到了普遍的关注。
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...究 62 页 约 40,610 个字 约 1.943 M内容 阅 读: 获取全文 内容摘要 随着纳机电系统(Nano-electromechanical system，NEMS)技术的进步，纳米薄膜、纳米梁、纳米线、纳米管和纳米带等各种纳米结构的机械特性都受到了普遍的关注。
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