（1）随机微粒影响(Random Particle Interactions) 洁净室中的微粒对于纳米元件的伤害更甚以往。微粒可在实体电路上导致针孔(pin hole)、金属微粒(metal island)或是成为掺杂的杂质...
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随机微粒影响
Random particle influence
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