...影响,利用基于CCOS成形原理的离子束加工仿真程序对光学镜面进行修形,分析不同去除函数宽度对散射损失(Ratio of Scattering Loss,RSL)指标的影响。通过研究可知,随着去除函数宽度的减小,加工残差对散射损失的影响越来越小。
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除函数宽度对散射损失
Divide the function width against scattering loss
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