...与九十年代差别，今朝海内PVD妙技的成长更具多元性及立异性，归纳起来有以下几种范例： ①阴极电弧法(Cathode Arc Deposition)海内已由小圆型阴极电弧妙技成长到年夜面积阴极电弧妙技及柱型靶阴极电弧妙技，首要用于TiAlN等薄膜的制备。
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阴极电弧法
Cathode arc method
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