...用单层大马士革工艺制备的测试结构如图1所示，包含两段长度分别为150μm的铜线，中间通过3μm长的扩散阻挡层衬垫（barrierliner，BL）来连接。
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长的扩散阻挡层衬垫
Long diffusion barrier layer liner
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