锌铟锡氧化物（ZITO）的透明导电氧化物层通过无线电频率（RF）磁控共溅射在室温下淀积。一系列样品逐渐变化的锌的含量进行了研究。
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铟锡锌氧化物 ITZO
铟锌锡氧化物 IZTO
锌铟锡氧化物
Zinc indium tin oxide
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